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EX-610SHM 高精度平行光曝光机
EX-610SHM Hi-precision Collimate Exposure Machine

技术参数:  Technical data:
电力 AC220V/380V 3相 50/60HZ 100A/75A
有效曝光面积 610mm×610mm
光源系统 采用日本进口5R球形灯管1支
框架与传动系统 采用不锈钢框架,传动采用气动式
减少灰尘(比较其它采用马达带动链
条机械的磨合产生灰尘)
视准平角 在1.5o以内
偏差角度 在1.5o以内
强度 20mW/cm2
台面均匀性 90%以上
灯管冷却方式 采用风冷式
外接空气 5kg/cm2
外接排气 50 L/min
Power AC 220V/380V 3Φ 50/60Hz 100A/75A
Efficient Area 610×610mm
Light source 5R Lamp×1pc
Frame and transportation Stainless steel outside energy saving
system with cylinder driving system
Collimated half Angle Less 1.5o
Declination Angle Less 1.5o
UV light energy 20mw/cm2
Uniformity Up 90%
Lamp cooling system Compressed cooling air
Compressed air 5kg/cm2
Exhausted air 50 L/min

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