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EX-610UHM 高精度U型平行光曝光机
EX-610UHM Hi-precision U Type collimate Exposure M

技术参数:  Technical data:
电力 AC380V/220V 3相 50/60HZ 125A
有效曝光面积 610mm×610mm
光源系统 采用进口U字形超高压水银5KW灯管2支
框架与传动系统 采用不锈钢框架,传动采用气动式减少 灰尘(比较其它采用马达带动链条机械 的磨合产生灰尘)
节能装置 采用瞬间闪光方式,比同类机节约1/5电能
光的形态 平行光
视准平角 在3o以内
偏差角度 在6o以内
台面均匀性 80%以上
操作方式 采用人机介面控制
机台尺寸 1330(W)×2400(D)×1894(H)mm
Power AC 220V/380V 3Φ 50/60Hz 100A/75A
Efficient Area 610×610mm
Light source Collimate U type lamp Hi-precision mercury lamp
Frame and transportation Stainless steel outside energy saving system with cylinder driving system
UV Light system Collimated light
Collimate half Angle Less 3o
Declination Angle Less 6o
Uniformity Up80%
Control system Tough panel screen control
Dimension 1330(W) ×2400(D)×1894(H)mm

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