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EX-300HS自动对位平行光曝光机
EX-300HS CCD Auto-alignment Exposure Machine

技术参数:  Technical data:
用途 IC,陶瓷板,BGA,HDI,LCD,12"晶片基板
电力 380/220V 3相 50/60HZ
有效面积 50×150mm~300×300mm(尺寸可订做)
光源系统 采用进口1kw水银灯管1支(功率大小可订做)
灯管冷却方式 气冷
操作方式 采用工业电脑搭配伺服马达
基板厚度 0.1~2mm(其它尺寸可依客户订做)
台面均匀度 90%以上
校准半角 约1o 偏差角:1o
最小分解度 约0.2um/PLS
移动量 ±4mm
自动校正系统 CCD侦测头×4台 监视器×2台
排气量 3m3/min
压缩空气 0.6mpa
Application IC board,BGA,HDI,LCD,12"Silicon wafer
Power AC 380/220V, 3ф,50/60Hz
Efficient area 150mm×150mm~ 300mm×300mm
UV Light source 1 KW mercury Lamp
Lamp Cooling system Compressed Air
Driving system Industrial computer control servo motor
Board thickness 0.1~2mm
Uniformity Up 90%
Collimate half angle Less 1o Declination angle: Less 1o
Resolution 0.2um/PLS
CCD movement ±4mm
Auto-alignment system CCD×4sets Display screen×2sets
Exhausted air 3m3/min
Compressed air 0.6mpa

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