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EX-610FPA FPC全自动平行光曝光机
EX610FPA for FPC Automatic Collimate Exposure Mach

技术参数:  Technical data:
电力 380V/220V 3相 50/60HZ
有效面积 610×610mm,(其它尺寸可订做)
使用光源 超高压5KW水银灯管1支
灯管冷却方式 气冷
台面均匀度 90%以上
视准半角 1.5o以内
偏差角 1.5o以内
机械结构 使用CCD自动对位
最小分解度 约0.2μm/PLS
整合精度 ±15μm
移动量 ±4mm
机台外形尺寸 2665W×5400L×2300H mm
用气量 4kg/cm2
Power 380V/220V 3P 50/60Hz
Efficient area 610×610mm
UV light source 5KW Mercury Lamp×1pc
Lamp Cooling system Compressed Air
Uniformity Up90%
Collimate half angle Less 1.5o
Declination angle Less 1.5o
Mechanical system CCD alignment
Resolution 0.2um/PLS
Movement ±4mm
Alignment tolerance ±15μm
Dimension 2665W×5400L×2300H mm
Air consumption 4kg/cm2

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